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0.1μm超小型粒子計(jì)數(shù)器在半導(dǎo)體芯片制造環(huán)境中的應(yīng)用

瀏覽次數(shù):78更新日期:2025-03-13

0.1μm超小型粒子計(jì)數(shù)器在半導(dǎo)體芯片制造環(huán)境中的應(yīng)用在半導(dǎo)體芯片制造過程中,對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求高,必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路,

控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場中超微小顆粒物數(shù)量,

以保證產(chǎn)品質(zhì)量和提升產(chǎn)品良率,特別是對于0.1μm粒子的檢測至關(guān)重要。

 

 

在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中,粒子計(jì)數(shù)器主要應(yīng)用于:1、 Fab廠的制造工藝檢測:在晶圓的光刻、涂膠顯影、刻蝕等多個工藝環(huán)節(jié)中,使用粒子計(jì)數(shù)器檢測環(huán)境中的塵埃粒子,

確保工藝的精確性。2、G端封裝過程:在晶圓切割封裝過程中,粒子計(jì)數(shù)器同樣發(fā)揮著關(guān)鍵作用,保證封裝質(zhì)量。3、 半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)工藝的質(zhì)量監(jiān)測:通過粒子計(jì)數(shù)器對設(shè)備工藝點(diǎn)進(jìn)行監(jiān)控,確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

參考法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn):
粒子計(jì)數(shù)器嚴(yán)格遵守ISO 21501-4法規(guī),并滿足ISO 14644-1(2015)潔凈室懸浮粒子測試方法的要求,適用于class 1至6級的潔凈室環(huán)境。
使用方法:
參照ISO14644-1(2015)法規(guī)的內(nèi)容,針對不同潔凈度等級下監(jiān)測粒徑的上限要求,通過法規(guī)內(nèi)容的計(jì)算方法測算采樣點(diǎn)數(shù)及每個點(diǎn)采樣時間,

對儀器進(jìn)行設(shè)定后,按照該方法進(jìn)行逐個點(diǎn)位測試。

 

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KANOMAX公司推出的超小型塵埃粒子計(jì)數(shù)器3950-00,同時監(jiān)測0.1μm和0.3μm的單位體積內(nèi)的微小粒子個數(shù),也可作為傳感器嵌入生產(chǎn)設(shè)備實(shí)時監(jiān)測作業(yè)現(xiàn)場的超微粒子,

為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評定提供依據(jù),為芯片制造保駕護(hù)航!

 

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Kanomax塵埃粒子計(jì)數(shù)器3950-00,DF性的技術(shù)革新,不僅將經(jīng)典品質(zhì)傳承,而且W美實(shí)現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中。

 

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既往產(chǎn)品尺寸難以嵌入半導(dǎo)體制造裝備中使用,本產(chǎn)品通過壓倒性的小型化,使傳感器嵌入設(shè)備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?br />

 

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致輕、致小,采樣量2.83L/min,同時測試0.1μm、0.3μm微小粒子,4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏,可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)。

設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口。

 


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